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自動300mm晶圓搬送機


AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用於低成本的後期檢查。

**且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和**。


人機工程學設計，操作方便 
• 可以自由設置的檢查模式，在設計上考慮了後道工程中的操作性，尤為重視設備的操作簡便性。 
• 分別對應FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。


堅固、可靠和**傳送 
• 延續了上一代機型的堅固性、可靠性和**性，能夠**可靠的傳送300 mm晶圓。 
• 薄片，Warped晶圓皆能**搬送。 
• 宏觀觀察位置的*優化和操作單元的集中排列，提高了設備的操作舒適性。