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集優異性能、操作簡便性、多樣化功能於一身


日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴展性,結合眾多的自動化功能,可高效發揮其高性能。

SU3900標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察。





SU3900標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察


樣品台可搭載超大/超重樣品

· 通過更換樣品提示,可防止由於與樣品的接觸而損壞設備或樣品
· 選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態下快速更換樣品,大大提高了工作效率
· 具備樣品台移動限製解除功能,提高了自由度*

· 紅外CCD探測器,提高了樣品台移動的**性


支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
· 與GUI聯合,可配備樣品倉室導航相機
· 覆蓋整個可觀察區域
· 支持360度旋轉


                  

隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進一步優化


一個鼠標就能夠輕鬆操作的簡約GUI
各種自動化功能
· 自動調整算法經改良後,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
· 提高了自動聚焦精度
· 搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
Multi Zigzag,可實現多區域的大視野觀察
Report Creator,可利用獲得的數據批量生成數據報告


                                         

可提供滿足測試需求的應用解決方案


可滿足多種觀察需求的探測器
· 搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
· 高靈敏度半導體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像
配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件
· SEM/EDS一體化功能*
三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
支持圖像測量軟件Image pro
*配件